チラー・冷却装置

チラー・冷却装置の自社設計、自社生産

エムケイリサーチでは、液体・気体を問わず冷却・加熱を行い、設定した温度に高精度に保つ
冷却・加熱による温度制御装置の設計・製造しております。

この冷却・加熱を行う装置の特色は、冷却装置本体から排出される廃熱のエネルギーを有効に再利用することによって、消費電力を抑えて効率を上げた省エネで高効率の装置を開発しております。

また幅広い温度帯、幅広い用途の冷却・加熱などに対応した特殊仕様の温度制御装置のご相談もお受けいたします。

液体・気体を問わず高温から超低温まで

エムケイリサーチの温度制御装置はスパッター、ステッパー、エッチャー、アッシャー、各種計測装置等などの冷却・加熱に最適です。

半導体以外の用途や特殊仕様の冷却装置でも、ユーザー様のご要望に合わせて対応いたします。

制御可能温度範囲はー80℃～250℃と広範囲です。

■超低温冷凍ユニット（-80℃～+30℃）
標準仕様
冷却能力　-70℃時　　630W
　　　　　　　-55℃時　　1.1kW
W５８０xD７９０xH1150・・・・・0.53ｍ³
特別仕様
冷凍能力　-65℃時　　400W
　　　　　　　-55℃時　　1.2kW
W５８０xD７９０xH1150・・・・・0.53ｍ³

■低温冷却ユニット
冷却能力　　　　20℃時　　1.5kW
W330xD610xH825・・・・・0.17ｍ³
真空装置用　コールドトラップ冷却装置
冷却能力　-25℃時　　250W
W330xD470xH395・・・・・0.06ｍ³

■常温冷却ユニット
冷却能力　　　　20℃時　　3kW
W340xD470xH665・・・・・0.11ｍ³

■高温　温度制御ユニット

加熱能力 冷却能力 制御温度範囲 W460xD675xH815・・・・・0.25ｍ³	1KW 100℃/1KW 常温～250℃	（水冷式）

■超コンパクト冷却装置の設計
ご要望仕様に基づき超コンパクト設計対応
能力最適化設計
機能部品配置の最適化設計
配管・引き回しのコンパクト設計

（従来・通常タイプ比：約60％可能）