計測・制御装置

エムケイリサーチは半導体製造装置における各種ガス流量・温度・真空などを

計測制御する装置をお客様の仕様にあわせた形でご提案致します。

私たちエムケイリサーチの主たる業務であるこの分野においては、現在までにお客様に多大な支持を頂いており、液体・気体などを制御コントロールすると言うご要望に対しては間違いなくお客様のニーズにこたえた製品を提供できると自負しております。

また全ての製品はお客様が現在ご使用になっている装置の仕様にあわせて製作致しますので、既存装置への仕様追加や改造などにも応用が可能です。

エムケイリサーチで生産される多くの製品はお客様にあわせた一品一様のものが多く、ラインナップとしてご紹介できるものは多くありません。

その分、ご注文いただいたお客様に対しては満足行く仕様のものをご提供できるよう社員一同心がけております。

エムケイリサーチは画像処理を用いた欠陥検査・寸法計測装置や軸制御を用いた搬送装置などの開発も行います。

画像処理は光学系の組み合わせによりミクロンオーダーへの対応が可能で、画像処理での情報を元に精度の高い軸制御やその他各種制御信号などと連動させることも出来ます。

装置の制御・計測をはじめ、このような動作状態の確認や設定などの制御ソフトの開発をエムケイリサーチ社内で一貫して開発することにより、設定や操作など全ての面においてユーザーフレンドリーなＧＵＩ（グラフィックユーザーインターフェイス）を構築することが可能です。

エムケイリサーチで開発した全自動播種装置S-Feederには、画像処理による計測技術、位置情報を元にした軸制御などが応用されています。

小型ＣＣＤカメラでターゲット画像を捉え、あらかじめ設定した条件に基づいて物体の認識を行います。画像処理におけるカメラ、レンズ、照明などの構成はお客様の仕様を元に実験・検証を繰り返し、最適な結果を得られる構成を構築します。この装置では約３０μm／pixelで認識を行っておりますが、光学系の組み合わせにより認識できるサイズは変更が可能です。

 左上写真：ターゲット写真  右下写真：画像処理後の認識ターゲットを赤く表示

画像処理で認識した物体から位置を計測、計算して軸の動作情報にフィードバックを行います。認識した位置情報を元に軸の移動先が決定、ターゲットのピッキングを行います。またあらかじめ設定されている情報をもとに均一にターゲットの移植を行います。

 写真：正確なピッチで植え付けられているシロイヌナズナ種子

半導体製造装置に限らず計測制御と言う性質上、例えば以下のような製品も製作可能です。

もちろんこれらの制御ユニットには電気的・機械的なインターロック機構や外部への入出力などお客様に合わせた仕様を盛り込むことも可能です。

また厳密な意味での制御とは異なりますが、搬送機構等に良く用いられる軸の位置制御や回転制御などを用いたユニットの開発も承っております。この技術を応用したエムケイリサーチの開発製品が全自動播種装置S-FeederやパーソナルコロニーピッカーC-Pickerです。

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